Настольные растровые электронные микроскопы SuperSEM

SuperSEM.png

Растровая (сканирующая) электронная микроскопия (РЭМ) является одним из основных методов исследования морфологии и микроструктуры материалов за счёт формирования изображения поверхности с использованием сфокусированного пучка электронов. Метод позволяет получать высокодетализированные изображения, а также проводить локальный элементный анализ исследуемых образцов. Настольный растровый электронный микроскоп — оптимальное решение для оперативного контроля качества и проведения рутинных исследований в лабораториях и на производстве.

 

Примеры использования:

  • Академические исследования, материаловедение, металлургия, полупроводниковая промышленность: анализ морфологии и микроструктуры материалов, исследование размеров и формы частиц, изучение изломов, покрытий и тонких плёнок.
  • Промышленное производство и контроль качества: анализ морфологии поверхности и микродефектов, исследование причин возникновения дефектов (разрушений, отслоений, трещин), идентификация и локальный анализ загрязнений, оценка структуры и однородности покрытий.
  • Электроника и приборостроение: контроль топологии печатных плат, анализ микроструктуры компонентов, выявление дефектов пайки и микроразрушений.
  • Фармацевтика и химическая промышленность: исследование морфологии порошков, гранул и агломератов, контроль однородности и распределения размеров частиц.
  • Полимерное производство: анализ структуры полимеров, исследование распределения наполнителей, изучение механизмов разрушения.

Особенности прибора

  • Высокая скорость сканирования: электроника с полосой пропускания до 10 МГц обеспечивает быстрое формирование изображения без артефактов (смазывания и шлейфов), позволяя наблюдать образцы в режиме реального времени без потери деталей.
  • Компактность и простота размещения: настольное исполнение не требует специализированного помещения, виброизоляционных столов и сложной инфраструктуры. Прибор работает от стандартной электросети и готов к эксплуатации по принципу plug-and-play.
  • Расширенная визуализация (окрашивание СЭМ-изображений): технология псевдоцветового картирования изображений повышает контрастность и наглядность, облегчает распознавание структурных особенностей и упрощает сравнительный анализ образцов.
  • Сравнение спектров в реальном времени: результаты элементного анализа могут отображаться и сопоставляться с ранее полученными спектрами непосредственно в процессе измерения, без ожидания завершения сбора данных.
  • энергодисперсионный анализ (EDX) с визуализацией: гибкий выбор области анализа (точка, линия, поверхность) и современные алгоритмы обработки обеспечивают точное разделение близких спектральных пиков и наглядное отображение распределения элементов. Позволяет эффективно исследовать однородность, диффузию и интерфейсы в материалах.
  • Наличие ключевых детекторов (SE, BSE): прибор оснащён детекторами вторичных и обратнорассеянных электронов, что позволяет получать как детализированную информацию о морфологии поверхности, так и контраст по химическому составу, обеспечивая более полное представление об исследуемом образце.
  • Система компенсации заряда: реализованные режимы низкого вакуума и пониженного ускоряющего напряжения эффективно снижают эффект зарядки, что позволяет исследовать непроводящие образцы без сложной пробоподготовки и нанесения проводящих покрытий.

 

Технические характеристики

Параметр

SuperSEM N10

SuperSEM N10eX

SuperSEM N10eV

SuperSEM N10XL

Ускоряющее напряжение

5 / 10 / 15 кВ

5 / 10 / 15 / 20 / 25 / 30 кВ

5 / 10 / 15 / 20 кВ

Увеличение

×10 – ×100 000 (фото) / до ×250 000 (дисплей)

Детектор

BSE

  • BSE — высокочувствительный 4-сегментный детектор обратнорассеянных электронов
  • SE — детектор вторичных электронов
  • EDX — система энергодисперсионного анализа с псевдоцветового картирования

Параметры EDX

  • Тип детектора: Кремниевый дрейфовый детектор (SDD)
  • Энергетическое разрешение: 130 эВ
  • Площадь детектора: 30 мм2
  • Диапазон элементов: B – Cf

Электронная пушка

Вольфрамовый катод (картриджного типа, преднастроенный)

Режимы визуализации

Обратнорассеянные электроны (BSE)

  • Обратнорассеянные электроны (BSE)
  • Вторичные электроны (SE)
  • EDX-картирование в режиме реального времени
  • Комбинированные режимы:
  1. BSE + SE
  2. BSE + SE + EDX-картирование

Режим вакуума

  • Стандартный режим 
  • Режим компенсации заряда

Максимальный размер образца

 Ø 90 мм / толщина до 40 мм

 Ø 200 мм / толщина до 60 мм

3-осевой предметный столик

X: ±25 мм
Y: ±25 мм
Z: 30 мм

X: ±50 мм
Y: ±50 мм
Z: 60 мм

Габариты (Ш×Г×В)

292 × 570 × 515 мм

Масса

55 кг

56 кг

57 кг

66 кг

О производителе

lan-scient-logo

Фирма LANScientificCo., Ltd., основанная в 2012 году, занимается исследованиями и разработками в области точных приборов high-end по мировым стандартам. Компания специализируется на производстве передовых рентгенофлуоресцентных спектрометров (энергодисперсионных / с полным внешним отражением), порошковых рентгеновских дифрактометрах, анализаторах толщины покрытия, рамановских спектрометрах, лазерно-искровых эмиссионных спектрометрах. Производитель LANScientific занимает лидирующие позиции на рынке Азии и непрерывно совершенствует свои аналитические инструменты. 

В фокусе внимания:

Криостаты производства Advanced Research SystemКриостаты замкнутого цикла от Advanced Research System

Жидкостной хроматограф Agilent 1260 Infinity LCЖидкостной хроматограф Agilent 1260 Infinity LC

ТГц-оборудование производства TeraViewТерагерцовое оборудование производства TeraView

Атомно-абсорбционные спектрометры Agilent 240Атомно-абсорбционные спектрометры Agilent серий 240 и 280

Гелий-кадмиевые лазеры KIMMON, 325 и 442 нмГелий-кадмиевые лазеры KIMMON, 325 и 442 нм

Исследовательские ИК-Фурье спектрометрыИК-Фурье спектрометры

GC-IMS FlavourSpec производства GASGC-IMS FlavourSpec производства GAS

Газовые Ar и Kr лазеры LEXEL (Вид, глубокий УФГазовые Ar и Kr лазеры LEXEL (Вид, глубокий УФ)

Трехквадрупольный ГХ-МС Agilent 7000CТрехквадрупольный ГХ-МС Agilent 7000C

Hi-end криогенные станции от Leiden Cryogenics B.V.Hi-end криогенные станции от Leiden Cryogenics B.V.

Наносекундные лазеры 266, 355, 532, 1064 нмDSS1064

Столики для микроскопии от Linkam Scientific Instr.Столики для микроскопии от Linkam Scientific Instruments