Описание

JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п. Также JSM-7500F по умолчанию комплектуется автоматической шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает скорость загрязнения камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления и продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз. Однако даже использование шлюза не мешает работать с большими образцами: до 200 мм в диаметре и до 40 мм высотой.

Кроме того, JSM-7500F, благодаря встроенной активной антивибрационной системе, очень устойчив к дрожанию пола и акустическим шумам. Простой и интуитивно понятный пользовательский интерфейс делает легким управление этим прибором даже для новичка. Экорежим, позволяющий включать РЭМ в определенное время (например, за полчаса до начала рабочего дня), выключать или вводить в его «спящий» режим по завершении запланированного цикла исследований, позволяет экономить от 25 до 55% электроэнергии и рабочее время обслуживающего персонала.

JSM-7500F является прекрасным инструментом для решения задач в области нанотехнологий, материаловедения и биологии.

Основные преимущества

• Автоэмиссионный («холодный») катод обладает большим сроком службы (более 5 лет) и обеспечивает очень яркий пучок электронов с малым разбросом по энергии;
• Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна JSM-7500F позволяет добиваться высоких разрешений (0,6 нм при 30 кВ в ПРЭМ-режиме и 1,0 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов);
• Встроенная активная антивибрационная система позволяет получать прекрасные изображения в условиях, далеких от идеальных;
• Доступность большого количества детекторов различных типов, в том числе LABE, RBEI, SEI, LEI. Низкоугловой детектор отраженных электронов (LABE) прекрасно работает при малых энергиях электронного пучка (вплоть до 100 эВ), позволяя получать информацию и об однородности состава, и о топологии поверхности образца, а также решает проблему с накоплением заряда на поверхности диэлектрических образцов;
• Интерфейс пользователя делает возможным одновременное наблюдение на экране монитора сигналов с 4 различных детекторов в режиме реального времени;
• Встроенный в электронно-оптическую колонну r-фильтр позволяет четко разделять сигналы от вторичных и обратнорассеянных (отраженных) электронов, а также смешивать их между собой в заданных пропорциях;
• Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму, существенно увеличивает долю электронов, достигающих поверхности образца, позволяя тем самым экономнее расходовать ресурс эмиттера;
• Режим торможения пучка (Gentle Beam), который замедляет электроны перед падением на поверхность образца, сильно снижает повреждения, наносимые пучком, а также позволяет избежать зарядки образцов с плохой электропроводностью;
• Доступность различных типов шлюзов позволяют выбрать оптимальный, включая шлюз с автосменщиком образцов;
• Устанавливаемая в камере образцов криогенная ловушка уменьшает загрязнение колонны при работе с испаряющимися под электронным пучком образцами и, тем самым, продлевает ресурс электронно-оптической колонны;
• Большая камера образцов позволяет работать с объектами диаметром до 200 мм и высотой до 40 мм, а также одновременно устанавливать множество разнообразных аналитических приставок (энергодисперсионный спектрометр, детектор дифракции отраженных электронов, детектор катодолюминесценции, рамановский спектрометр и т.п.)

Спецификации