JEOL JIB 4000
JIB-4000 – это однолучевая система со сфокусированным ионным пучком, которая может быть использована в режиме ионного микроскопа для анализа морфологии поверхности образцов либо в качестве системы ионного травления для приготовления образцов РЭМ и ПЭМ.
Описание
JIB-4000 – это однолучевая система со сфокусированным ионным пучком, которая может быть использована в режиме ионного микроскопа для анализа морфологии поверхности образцов либо в качестве системы ионного травления для приготовления образцов РЭМ и ПЭМ. Она оснащена ионной колонной специальной конструкции и отличается высокой производительностью и надежностью. Графический интерфейс пользователя прост и понятен, и управление системой не представляет трудностей даже для начинающих операторов.
По желанию заказчика, JIB-4000 может быть одновременно укомплектован двумя столиками образцов, первый из которых полностью совместим со стандартными держателями образцов растровых электронных микроскопов, а второй – с держателями ПЭМ. Эта полезная опция позволяет проверять качество приготовления образцов, предназначенных для исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проводить их обработку и утонение, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений. Столик каждого типа в JIB-4000 оснащен шлюзовой камерой. Это позволяет экономить время при замене образцов, а, главное, уменьшает степень загрязнения камеры образцов и ионно-оптической колонны.
Для данной ионной системы разработано множество разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, манипулировать образцами больших размеров, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями сканирующих электронных микроскопов и микроанализаторов старых моделей.
Основные преимущества
-
Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая в режиме травления быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых микрофотографий (5 нм с использованием детектора вторичных электронов);
-
Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов или электронно-зондовых микроанализаторов;
-
Наличие программного обеспечения для проведения ионной литографии;
-
Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;
-
Наличие двух шлюзов: для держателей РЭМ и для держателей ПЭМ.
-
Суммарная стоимость JIB-4000 и РЭМ JEOL ниже стоимости двулучевой системы, а производительность – выше.
Спецификации
Аппаратная часть | |
Источник ионов |
Ускоряющее напряжение |
галлиевый |
1 - 30 кВ (с шагом 5 кВ)
|
Увеличение |
Разрешение изображений во вторичных электронах
|
x60 (в режиме навигации по образцу) x200 – x300 000 |
5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
Ток пучка |
Апертурная диафрагма |
до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ) |
12-позиционная |
Столик для образцов РЭМ |
Диапазоны перемещений столика для образцов РЭМ |
Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 5-ти осям |
Ось X: ±11 мм |
Максимально допустимые размеры образцов для РЭМ |
Доступные опции |
Диаметр - 28 мм, высота – 13 мм; |
Углеродный картридж (IB-52110CDC2) |
|