Go To Top

Терагерцовый сканер покрытия кремниевых пластин солнечных батарей TeraView CS 5000

Терагерцовый сканер TeraCiew CS 5000

Пластины солнечных батарей с поликристаллическим кремнием посредством распыления покрываются нитридом кремния для обеспечения защиты от загрязнений.
Покрытие наносится вручную или с помощью автоматизированных распылительных аппаратов. Однако для процесса характерна низкая возможность контроля, что может привести к дефектам и неоднородности покрытия.
До сих пор не существовало неразрушающего бесконтактного метода испытания покрытия до зарядки. Но сканер TeraView CS 5000 разработан специально для получения важной для контроля процесса нанесения покрытия информации.

 Основные преимущества TeraView CS5000

  • Терагерцовый сканер TeraCiew CS 5000Полностью регулируемая в трех направлениях стойка TeraView, контролирующая движение бесконтактной измерительной головки на всех 5 внутренних поверхностях
  • Обеспечивает измерение толщины покрытия для быстрого определения равномерности и однородности и проверяет на предмет наличия недостатков и дефектов
  • Обеспечивает визуальную информацию о структуре покрытия – многослойность, шероховатость, разность плотностей, характеристики интерфейса, а также статистические значения однородности
  • Простая загрузка солнечной батареи с помощью позиционных датчиков для обеспечения правильного положения для сканирования
  • Безопасная конфигурация для условий заводской эксплуатации
  • Уникальное программное обеспечение для простого управления и интерпретации данных
  • Может использоваться для усовершенствования и контроля качества процесса нанесения покрытия или для входного контроля готовых к эксплуатации солнечных батарей
  • Выпускается под различные поколения размеров батарей до GEN 8
  • Основная информация

    Было выполнено сканирование трех различных солнечных батарей, в том числе двух батарей с предварительно нанесенным покрытием от различных поставщиков. На рисунках ниже показана небольшая область 20 мм². Четко видна разница между тремя различными процессами нанесения покрытия.
    Низкая однородность толщины, многослойная и грубая структура видна на всех трех изображениях. Расстояние между пиками иллюстрирует информацию о толщине покрытия, а их высота указывает на плотность и структуру поверхности. Эта важная информация может помочь в процессе создания улучшенного покрытия с более высоким и постоянным качеством, а также получать более высокий процент выхода годных.

    TeraView CS5000

    Рисунок: 3 примера различных покрытий нитридом кремния с поперечным сечением покрытия (сверху) и индивидуальными формами отраженной волны (снизу). Интервалы между пиками зависят от толщины покрытия. Подписи: B-scan - Развертка типа B; Time delay (mm) - Временная задержка (мм); y-direction (mm) - Направление оси Y; THz wave form (a.u.) - Форма ТГц-волны (п.е).

     

    Принцип работы терагерцового спектрометра TeraView

    Быстрая последовательность импульсов терагерцового излучения (в зависимости от ситуации, в диапазоне между микроволновым и инфракрасным излучением), отраженная от покрытия и верхней поверхности батареи, позволяет получить полную картину структуры покрытия.
    Это позволяет получить характеристику структуры покрытия, его толщине и плотности. В системе предусмотрена надежная бесконтактная головка, расположенная на трехкоординатной стойке и соединенная со спектрометром посредством оптического волокна.

    Спецификации TeraView CS5000

    Характеристика Технические данные
    Размеры батарей До Gen 8
    Комментарий: размеры стойки выбираются при заказе
    X-Y-разрешение 300 мкм
    Комментарий: в точке сканирования
    Предел обнаружения по толщине (SiN) 20 мкм
    Комментарий: минимальная разрешенная толщина
    Разрешение по толщине (SiN) Приблиз. +/- 5% (для толщ. 100 мкм)
    Комментарий: для толщины, превышающей минимальную
    Скорость сканирования (непрерывного) 50 мм/сек
    Комментарий: линейное сканирование выполняется на различном расстоянии в зависимости от общего времени сканирования и требуемого разрешения
    Эффективное X-Y-разрешение на максимальной скорости 1 мм
    Комментарий: во время быстрого сканирования
    Время для сканирования батареи от 10 минут до неск. часов
    Комментарий: зависит от требований точности, чем ниже разрешение, тем меньше время сканирования
    Питание прибора 110 В или 240 В пер. тока (однофазн.)

    ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

    ...

    a-tex17 234x60 uch