Go To Top

JEOL JSM-7610F

JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.).



 

 

Описание

JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.).

JSM-7610F комплектуется шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз, и в то же время не исключает возможность работы с большими образцами (до 200 мм в диаметре).

JSM-7610F является прекрасным инструментом для решения задач в области исследований наноматериалов, классического материаловедения, анализа качества металлургической продукции, медицины, биологии и др.

Основные преимущества

  • Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна JSM-7610F, использующая объективную линзу открытого типа, обеспечивает высокое разрешение (0,8 нм при 30 кВ в ПРЭМ-режиме и 1,0 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов);
  • Термополевой катод, известный также как катод Шоттки, обеспечивает высокие (свыше 200 нА) и стабильные токи пучка, что позволяет использовать JSM-7610F и в качестве аналитического РЭМ;
  • Специальная конструкция первой конденсорной линзы микроскопа позволяет намного более эффективно собирать эмитированные катодом электроны и обеспечивает длительный срок службы электронной пушки (более 3 лет);
  • Доступность большого количества детекторов различных типов, в том числе LABE, RBEI, SEI, LEI. Низкоугловой детектор отраженных электронов (LABE) прекрасно работает при малых энергиях электронного пучка (вплоть до 100 эВ), позволяя получать информацию и об однородности состава, и о топологии поверхности образца, а также решает проблему с накоплением заряда на поверхности диэлектрических образцов;
  • Встроенный в электронно-оптическую колонну r-фильтр позволяет либо разделять сигналы от вторичных и обратнорассеянных электронов, либо смешивать их между собой в заданных пропорциях;
  • Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму, существенно увеличивает долю электронов, достигающих поверхности образца, позволяя тем самым экономнее расходовать ресурс эмиттера;
  • Режим торможения пучка (Gentle Beam), который замедляет электроны перед падением на поверхность образца, сильно снижает повреждения, наносимые пучком, а также позволяет избежать зарядки образцов с плохой электропроводностью;
  • Доступность различных типов шлюзов позволяют выбрать оптимальный, включая шлюз с автосменщиком образцов;
  • Устанавливаемая в камере образцов криогенная ловушка уменьшает загрязнение колонны при работе с испаряющимися под электронным пучком образцами и, тем самым, продлевает ресурс электронно-оптической колонны;
  • Большая камера образцов позволяет работать с объектами диаметром до 200 мм, а также одновременно устанавливать множество разнообразных аналитических приставок (энергодисперсионный спектрометр, спектрометр с дисперсией по длинам волн, детектор дифракции отраженных электронов, детектор катодолюминесценции, рамановский спектрометр и т.п.)

Спецификации

Аппаратная часть

Разрешение

Тип источника электронов 

1,0 нм (15 кВ),
1,3 нм (1 кВ),
0,8 нм (30 кВ, ПРЭМ-режим)
3,0 нм (15 кВ, ток зонда: 5 нА, рабочий отрезок: 10 мм)

Термоэмиссионный катод (катод Шоттки)

Ускоряющее напряжение  Шаг изменения ускоряющего напряжения

100 В - 30 кВ

от 0,1 кВ до 2,9 кВ - шаг 10 В
от 3,0 кВ до 30,0 кВ - шаг 100 В

Увеличение

Ток пучка

х25 - x1 000 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм)

от 1 пА до более, чем 200 нА

Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму

Энергетический фильтр

Встроена по умолчанию 

Доступен в базовой комплектации

Предметный столик

Диапазон перемещений 

Эвцентрический гониометрический столик
Моторизованный по 5-ти осям

X: 70 мм, Y: 50 мм (тип IA)
X: 110 мм, Y: 80мм (тип II)
X: 140 мм, Y: 80мм (тип III)
Диапазон углов наклона образца: от -5° до +70°
Вращение: 360°

Диапазон рабочих отрезков

Вакуумный шлюз

оот 1 до 40 мм

Входит в базовую комплектацию

Режим торможения пучка «Gentle Beam»

Максимальный диаметр образца

Входит в базовую комплектацию

200 мм (с использованием столика образцов типа III и 8-дюймового шлюза)

Вакуумная система

 

Полностью автоматизирована
Ионный насос — 2 шт.
Турбомолекулярный насос — 1 шт.
Форвакуумный ротационный насос — 1 шт.
Криоловушка 

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...