Go To Top

JEOL JIB 4000

УФ-Вид спектрофотометр Agilent Cary 60 JIB-4000 – это однолучевая система со сфокусированным ионным пучком, которая может быть использована в режиме ионного микроскопа для анализа морфологии поверхности образцов либо в качестве системы ионного травления для приготовления образцов РЭМ и ПЭМ.



 

 

Описание

JIB-4000 – это однолучевая система со сфокусированным ионным пучком, которая может быть использована в режиме ионного микроскопа для анализа морфологии поверхности образцов либо в качестве системы ионного травления для приготовления образцов РЭМ и ПЭМ. Она оснащена ионной колонной специальной конструкции и отличается высокой производительностью и надежностью. Графический интерфейс пользователя прост и понятен, и управление системой не представляет трудностей даже для начинающих операторов.

По желанию заказчика, JIB-4000 может быть одновременно укомплектован двумя столиками образцов, первый из которых полностью совместим со стандартными держателями образцов растровых электронных микроскопов, а второй – с держателями ПЭМ. Эта полезная опция позволяет проверять качество приготовления образцов, предназначенных для исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проводить их обработку и утонение, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений. Столик каждого типа в JIB-4000 оснащен шлюзовой камерой. Это позволяет экономить время при замене образцов, а, главное, уменьшает степень загрязнения камеры образцов и ионно-оптической колонны.

Для данной ионной системы разработано множество разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, манипулировать образцами больших размеров, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями сканирующих электронных микроскопов и микроанализаторов старых моделей.

Основные преимущества

  • Стабильная, надежная, высокопроизводительная ионная колонна специальной конструкции, позволяющая в режиме травления быстро стравливать большие объемы материала, а в режиме наблюдения обеспечивающая высокое разрешение получаемых микрофотографий (5 нм с использованием детектора вторичных электронов);

  • Возможность работы с образцами, уже установленными на держатели растровых и просвечивающих электронных микроскопов или электронно-зондовых микроанализаторов;

  • Наличие программного обеспечения для проведения ионной литографии;

  • Возможность напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной;

  • Наличие двух шлюзов: для держателей РЭМ и для держателей ПЭМ.

  • Суммарная стоимость JIB-4000 и РЭМ JEOL ниже стоимости двулучевой системы, а производительность – выше.

Спецификации

Аппаратная часть

Источник ионов

Ускоряющее напряжение

галлиевый

1 - 30 кВ (с шагом 5 кВ)

 

Увеличение 

Разрешение изображений во вторичных электронах

 

x60 (в режиме навигации по образцу)

x200 – x300 000

5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

Ток пучка

Апертурная диафрагма

до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

12-позиционная

Столик для образцов РЭМ

Диапазоны перемещений столика для образцов РЭМ

Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 5-ти осям

Ось X: ±11 мм
Ось Y: ±15 мм
Ось Z: -23…+0,5 мм
Наклон: -5°…+60°
Вращение: 360°, непрерывное

Максимально допустимые размеры образцов для РЭМ

Доступные опции

Диаметр - 28 мм, высота – 13 мм;
Диаметр - 50 мм, высота – 2 мм

Углеродный картридж (IB-52110CDC2)
Вольфрамовый картридж (IB-52120WDC2)
Платиновый картридж (IB-52130WDC2)
Система напуска газа (IB-02100GIS2)
Гониометрический столик бокового ввода (IB-01040SEG)
Детектор тока пучка (IB-04010PCD)
Панель оператора (IB-05010OP)
Система навигации по большим образцам (IB-01200SNS)
Держатель для тонких образцов (EM-02210)
Держатель для массивных образцов (EM-02220)
Держатель для массивных образцов FIB 1 (EM-02560FBSH1)
Держатель для массивных образцов FIB 2 (EM-02570FBSH2)
Переходник для держателей термополевых РЭМ (EM-02580FSHA)
Наконечник для держателей ПЭМ (EM-02280)
Настольная система монтажа образцов ПЭМ на держатели (EM-02230)

 

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...