Go To Top

JEOL JIB-4510

УФ-Вид спектрофотометр Agilent Cary 60 JIB-4510 – это двухлучевая система, представляющая собой многофункциональный растровый электронный микроскоп, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.



 

 

Описание

JIB-4510 – это двухлучевая система, представляющая собой многофункциональный растровый электронный микроскоп, оснащенный мощной ионной пушкой. Прибор может одновременно быть использован и в режиме РЭМ, и в режиме ионного микроскопа или системы ионного травления.

Электронно-оптическая колонна JIB-4510 создана по классической, отработанной годами, высоконадежной схеме. Источником электронов является катод из вольфрама или гексаборида лантана. В зависимости от задач заказчик может сам выбрать, с каким источником электронов целесообразнее работать в данный момент, и легко может перейти с вольфрамового катода на гексаборид-лантановый или наоборот. Все катоды предварительно отцентрированы на заводе, и их замена занимает считанные минуты. Конденсорная линза приборов данной серии позволяет плавно менять ток пучка, не меняя при этом положения фокуса. Отклоняющие катушки (дефлекторы) рассчитаны на большие углы отклонения электронного пучка, что делает удобной работу с большими образцами. Диафрагма объективной линзы легко заменяется и центрируется силами оператора, что значительно ускоряет и удешевляет сервисное обслуживание прибора.

Ионная колонна JIB-4510 сконструирована компанией JEOL специально для систем такого класса. Она отличается высокой надежностью, обеспечивает высокое разрешение изображений при работе в режиме наблюдения и высокие токи пучка при работе в режиме травления.

Помимо всех типов исследований, традиционно проводимых с помощью РЭМ, JIB-4510 позволяет обрабатывать ионами и утонять образцы, предназначенные для дальнейших исследований методами растровой и просвечивающей электронной микроскопии, проверять их качество. После проверки и/или обработки образцов в JIB-4510, их можно переносить в ПЭМ или РЭМ напрямую, не демонтируя с держателей, а значит, не подвергая риску повреждений.

Вакуумная система JIB-4510 полностью автоматизирована и прекрасно защищена от различных нештатных ситуаций (аварийное отключение электропитания, ошибочные действия оператора и т.п.). Форвакуумная часть оснащена двумя ротационными насосами, один из которых обеспечивает заданное давление в камере образцов при работе в низковакуумном режиме, а второй – работу высоковаккумной части прибора. Такое конструктивное решение оберегает турбомолекулярный насос, электронную и ионную колонны от падения уровня вакуума и продлевает срок их службы. Также JIB-4510 комплектуются шлюзовой камерой, которая существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, существенно продлевает срок службы катодов и диафрагм.

Двухлучевую систему JIB-4510 можно дооснастить множеством разнообразных приставок. Они позволяют проводить напыление углеродом, вольфрамом и платиной, проводить ионное травление по заданному шаблону (ионную литографию), работать с держателями электронных микроскопов и микроанализаторов, даже старых моделей. Подключение таких опций, как энергодисперсионный спектрометр и детектор дифракции отраженных электронов, позволяет проводить послойный анализ элементного и фазового состава образцов.

Использование наноманипуляторов Omniprobe дает возможность проводить следующие операции в вакуумированной камере образцов прибора:

  • Перемещать образцы с точностью до нескольких нанометров;

  • Выкладывать из наночастиц и нановолокон узоры заданной формы;

  • Измерять электрические параметры различных нанообъектов;

  • Рассматривать с различных ракурсов тонкие кристаллы, приготовленные для дальнейших исследований в ПЭМ;

  • Снимать заряд с непроводящих образцов;

  • Производить микроразрезы в биологических образцах;

  • Отделять малые образцы от массива для проведения более точного микроанализа их элементного и фазового состава.

 

Основные преимущества

  • Перемещать образцы с точностью до нескольких нанометров;

  • Выкладывать из наночастиц и нановолокон узоры заданной формы;

  • Измерять электрические параметры различных нанообъектов;

  • Рассматривать с различных ракурсов тонкие кристаллы, приготовленные для дальнейших исследований в ПЭМ;

  • Снимать заряд с непроводящих образцов;

  • Производить микроразрезы в биологических образцах;

  • Отделять малые образцы от массива для проведения более точного микроанализа их элементного и фазового состава.

Спецификации

Аппаратная часть

Источник ионов

Ускоряющее напряжение

галлиевый

1 - 30 кВ

 

Увеличение 

Разрешение изображений во вторичных электронах

 

x30 (в режиме навигации по образцу)
x100 – x300 000

5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

Ток пучка

Источник электронов
от 0,5 пА до 60 нА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

 

Катод на основе монокристалла LaB6

Ускоряющее напряжение

Увеличение

0,3 - 30 кВ

 

x5 – x300 000

Разрешение изображений во вторичныхэлектронах

Ток пучка

 

2,5 нм (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

от 1 пА до 1 мкА (при ускоряющем напряжении 30 кВ)

 Тип столика для образцов

 Диапазоны перемещений столика для образцов

Эвцентрический гониометрический столик, моторизованный по 6-ти осям

Ось X: 76 мм
Ось Y: 76 мм
Ось Z: от 5 до 48 мм
Прецизионное позиционирования по оси Z: 2 мм
Наклон: -5°…+90°
Вращение: 360°, непрерывное

Максимально допустимые размеры образцов

Доступные опции

Диаметр - 75 мм, высота – 30 мм

Энергодисперсионный спектрометр (ЭДС)
Спектрометр с дисперсией по длинам волн (ВДС), вертикальный
Система дифракции отраженных электронов (ДОРЭ)
Детектор катодолюминесценции
Микроманипуляторы Omniprobe
Системы напыления образцов углеродом, вольфрамом и платиной

Вакуумная система

 

Сорбционно-ионный насос – 2 шт.
Турбомолекулярный насос – 1 шт.
Форвакуумный насос – 2 шт.

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...