Go To Top

JEOL JSM-7500F

JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении.



 

 

Описание

JSM-7500F – это растровый электронный микроскоп с «холодным» (автоэмиссионным) катодом, который сочетает в себе простоту управления, большой срок службы катода, аналитические возможности, а также экономичность в энергопотреблении. Холодный катод и объективная линза открытого типа (semi-in-lens) позволяют получать изображения с высоким разрешением и контрастом при малых токах пучка и низких ускоряющих напряжениях. Это особенно важно при работе с деликатными, чувствительными к пучку, образцами – полимерами, биологическими образцами, полупроводниками и т.п. Также JSM-7500F по умолчанию комплектуется автоматической шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает скорость загрязнения камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления и продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз. Однако даже использование шлюза не мешает работать с большими образцами: до 200 мм в диаметре и до 40 мм высотой.

Кроме того, JSM-7500F, благодаря встроенной активной антивибрационной системе, очень устойчив к дрожанию пола и акустическим шумам. Простой и интуитивно понятный пользовательский интерфейс делает легким управление этим прибором даже для новичка. Экорежим, позволяющий включать РЭМ в определенное время (например, за полчаса до начала рабочего дня), выключать или вводить в его «спящий» режим по завершении запланированного цикла исследований, позволяет экономить от 25 до 55% электроэнергии и рабочее время обслуживающего персонала.

JSM-7500F является прекрасным инструментом для решения задач в области нанотехнологий, материаловедения и биологии.

Основные преимущества

  • Автоэмиссионный («холодный») катод обладает большим сроком службы (более 5 лет) и обеспечивает очень яркий пучок электронов с малым разбросом по энергии;
  • Стабильная, высоконадежная электронно-оптическая колонна JSM-7500F позволяет добиваться высоких разрешений (0,6 нм при 30 кВ в ПРЭМ-режиме и 1,0 нм при 15 кВ в режиме регистрации вторичных электронов);
  • Встроенная активная антивибрационная система позволяет получать прекрасные изображения в условиях, далеких от идеальных;
  • Доступность большого количества детекторов различных типов, в том числе LABE, RBEI, SEI, LEI. Низкоугловой детектор отраженных электронов (LABE) прекрасно работает при малых энергиях электронного пучка (вплоть до 100 эВ), позволяя получать информацию и об однородности состава, и о топологии поверхности образца, а также решает проблему с накоплением заряда на поверхности диэлектрических образцов;
  • Интерфейс пользователя делает возможным одновременное наблюдение на экране монитора сигналов с 4 различных детекторов в режиме реального времени;
  • Встроенный в электронно-оптическую колонну r-фильтр позволяет четко разделять сигналы от вторичных и обратнорассеянных (отраженных) электронов, а также смешивать их между собой в заданных пропорциях;
  • Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму, существенно увеличивает долю электронов, достигающих поверхности образца, позволяя тем самым экономнее расходовать ресурс эмиттера;
  • Режим торможения пучка (Gentle Beam), который замедляет электроны перед падением на поверхность образца, сильно снижает повреждения, наносимые пучком, а также позволяет избежать зарядки образцов с плохой электропроводностью;
  • Доступность различных типов шлюзов позволяют выбрать оптимальный, включая шлюз с автосменщиком образцов;
  • Устанавливаемая в камере образцов криогенная ловушка уменьшает загрязнение колонны при работе с испаряющимися под электронным пучком образцами и, тем самым, продлевает ресурс электронно-оптической колонны;
  • Большая камера образцов позволяет работать с объектами диаметром до 200 мм и высотой до 40 мм, а также одновременно устанавливать множество разнообразных аналитических приставок (энергодисперсионный спектрометр, детектор дифракции отраженных электронов, детектор катодолюминесценции, рамановский спектрометр и т.п.)

Спецификации

Аппаратная часть

Разрешение

Тип источника электронов 

1,0 нм (15 кВ),
1,4 нм (1 кВ),
0,6 нм (30 кВ, ПРЭМ-режим)

Автоэмиссионный («холодный») катод 

Ускоряющее напряжение  Шаг изменения ускоряющего напряжения

100 В - 30 кВ

от 0,1 кВ до 2,9 кВ - шаг 10 В
от 3,0 кВ до 30,0 кВ - шаг 100 В

Увеличение

Ток пучка

х25 - x1 000 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм)

1 пА - 2 нА

Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму

Энергетический фильтр

Встроена по умолчанию 

Доступен в базовой комплектации

Предметный столик

Диапазон перемещений 

Эвцентрический гониометрический столик
Моторизованный по 5-ти осям

X: 70 мм, Y: 50 мм, Z: 38,5 мм (тип IA)
X: 110 мм, Y: 80мм, Z: 38,5 мм (тип II)
X: 140 мм, Y: 80мм, Z: 23,5 мм (тип III)
Диапазоны углов наклона образца для различных типов столиков от -5° до +70° (тип IA)
от -5° до +60° (тип II)
от -5° до +60° (тип III)
Вращение: 360°

Диапазон рабочих отрезков

Вакуумный шлюз

от 1,5 до 25 мм

Входит в базовую комплектацию

Режим торможения пучка «Gentle Beam»

Максимальный диаметр образца

Входит в базовую комплектацию

Диаметр: 200 мм
Высота: 40 мм
(с использованием столика образцов типа III и 8-дюймового шлюза)

Вакуумная система

 

Полностью автоматизирована
Ионный насос — 2 шт.
Турбомолекулярный насос — 1 шт.
Форвакуумный ротационный насос — 1 шт.
Криоловушка

 

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...