Go To Top

JEOL JSM-7200F

Новый растровый электронный микроскоп компании JEOL, JSM-7200F, разрабатывался как универсальный прибор, способный работать практически с любыми образцами и решать практически любые задачи. Этот РЭМ позволяет изучать даже магнитные, электронепроводящие, биологические, а также чувствительные к воздействию электронного пучка образцы.



 

 

Описание

Новый растровый электронный микроскоп компании JEOL, JSM-7200F, разрабатывался как универсальный прибор, способный работать практически с любыми образцами и решать практически любые задачи. Этот РЭМ позволяет изучать даже магнитные, электронепроводящие, биологические, а также чувствительные к воздействию электронного пучка образцы. Примененная в нем запатентованная компанией JEOL технология Shottky Plus позволяет достигать высокого разрешения при низких ускоряющих напряжениях (1,6 нм при 1 кВ), а также получать высокие токи пучка – до 300 нА.

Высокое значение максимального тока пучка и наличие большого количества портов в камере образцов JSM-7200F позволяют оснащать этот РЭМ множеством различных приставок:

  • энергодисперсионным спектрометром;
  • спектрометром с дисперсией по длинам волн;
  • детектором дифракции отраженных электронов;
  • системой катодолюминесценции;
  • спектрометром комбинационного рассеяния света;
  • системой микро-рентгеновского флуоресцентного анализа;
  • наноманипуляторами;
  • ПРЭМ-детектором;
  • системой РЭМ-томографии Gatan 3View;
  • спектрометром мягкого рентгеновского излучения и др. 

Также JSM-7200F может быть дооснащен специальными столиками для нагрева, охлаждения или растяжения/сжатия образцов.

Гибридная коническая объективная линза JSM-7200F является комбинацией электромагнитной и электростатической линз. Ее конструкция позволяет полностью исключить воздействие магнитного поля линзы на образец, что очень важно для исследования магнитных материалов, а также для получения картин дифракции отраженных электронов. Энергетический фильтр и так называемая система TTL (“through-the-lens”), встроенная в электронную колонну JSM-7200F базовой комплектации, позволяет получать изображения, используя электроны только с определенными энергиями. Это дает возможность оператору РЭМ JSM-7200F получать массу дополнительной информации об объектах исследований.

Используемая в JSM-7200F технология большой глубины фокуса LDF (long depth of field) позволяет проводить анализ больших площадей рельефных или наклонных образцов, не перемещая предметный столик РЭМ. Она крайне полезна при работе с детектором дифракции отраженных электронов, который требует наклона образца под углом 70°. Особенно хорошо технология LDF проявила себя при построении больших карт ориентации кристаллитов и полей остаточных напряжений.

Шлюзовая камера, входящая в базовый комплект РЭМ JSM-7200F:

  • минимизирует загрязнение камеры образцов и электронно-оптической колонны, а значит продлевает срок службы термополевого катода и диафрагм;
  • в несколько раз уменьшает время замены образцов;
  • снижает нагрузку на систему откачки микроскопа и тем самым продлевает ресурс турбомолекулярного и ионных насосов;
  • сводит к нулю риск повреждения сверхтонких окон энергодисперсионного и волнодисперсионного спектрометров.

Спецификации

Аппаратная часть

Разрешение в режиме высокого вакуума

Разрешение в режиме низкого вакуума

 

1,2 нм (30 кВ),
1,6 нм (1 кВ),
3,0 нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)

1,8 нм (30 кВ, 30 пА) 

Тип катода

 

Увеличение

Термополевой (Шоттки)

х10- x1 000 000

Ускоряющее напряжение

Ток пучка

10 В - 30 кВ 

1 пА - 300 нА

Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму

Энергетический фильтр

Встроена по умолчанию 

Доступен в базовой комплектации

Предметный столик

Диапазон перемещений 

Эвцентрический гониометрический столик
Моторизованный по 5-ти осям

X: 35 мм, Y: 50 мм, Z: 39 мм
Наклон: от -5° до 70°
Вращение: 360°, непрерывное

Диапазон рабочих отрезков

Вакуумный шлюз

от 2 до 41 мм

Входит в базовую комплектацию

Низковакуумный режим

Давление в камере образцов при работе в низковакуумном режиме

Доступен

От 10 до 300 Па

Вакуумная система

Устанавливаемые опции

Полностью автоматизирована
Ионный насос — 2 шт.
Турбомолекулярный насос — 1 шт.
Форвакуумный ротационный насос — 2 шт.

Энергодисперсионный спектрометр
Спектрометр с дисперсией по длинам волн
Система дифракции отраженных электронов
Система катодолюминесценции
Наноманипуляторы
Детектор тока, индуцированного пучком (EBIC)
Система РЭМ-томографии Gatan 3View
Спектрометр мягкого рентгеновского излучения

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...

a-tex17 234x60 uch