Go To Top

JEOL JSM 7100F

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА).



 

 

Описание

JSM-7100F – сканирующий электронный микроскоп с катодом Шоттки. Этот микроскоп является оптимальным решением для работы с наноразмерными образцами, он совмещает в себе высокую разрешающую способность необходимую для получения высокого разрешения при больших увеличениях при визуальном исследования образцов и высокие токовые характеристики электронного пучка (ток пучка до 200 нА). Благодаря уникальной конструкции электронно-оптической колонны достигается высокая стабильность пучка во времени, что очень важно при использовании методов энергодисперсионного анализа, волнодисперсионного анализа, дифракции обратно рассеянных электронов, катодолюминисценции


В электронно-оптической колонне микроскопа JEOL JSM 7100F реализована In-lens схема расположения катода, что позволяет с высокой эффективностью отбирать электроны эмитируемые с катода и поддерживать высокий ток пучка, и линзы с оптимальным углом апертуры для формирования тонкого зонда, даже при высоких токах


Микроскоп в базовой конфигурации оснащается высокоэффективным детектором вторичных электронов и детектором обратно отраженных электронов и системой Gentle Beam (GB) которая позволяет улучшить разрешение при низких ускоряющих напряжениях. В конфигурации JSM7500TTL помимо вышеперечисленных детекторов устанавливаются 2 Through the Lens (TTL) детектора. Они располагаются непосредственно внутри колонны и их использование позволяет улучшить разрешение.


Микроскоп JEOL JSM7100F позволяет исследовать непроводящие образцы методом ЭДС и ДОРЭ при высоких ускоряющих напряжениях в режиме низкого вакуума. Давление в камере может регулироваться в пределах от 10 до 300 Па.


Благодаря используемой в данном микроскопе электронно-оптической колонне, которая позволяет работать с пучком малого диаметра и большим током, возможно построение карт распределения элементов при малых ускоряющих напряжениях, что обеспечивает получение результат с очень большой локальностью.

 

Спецификации

Аппаратная часть

Модификация

JSM-7100F

JSM-7100F/TTL

JSM-7100F/LV

x50 (в режиме навигации по образцу)
x100 – x300 000

1,2 нм (30 кВ),
3,0 нм (1 кВ),
3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)

1,2 нм (30 кВ),

2,0 нм (1 кВ),
3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)

1,2 нм (30 кВ),

3,0 нм (1 кВ), 3,0нм (15 кВ, 5 нА, рабочий отрезок 10 мм)

Увеличение

X10- x1 000 000
Ускоряющее напряжение 200 В - 30 кВ  100 В - 30 кВ  200 В - 30 кВ

Ток пучка

1 пА - 200 нА 1 пА - 200 нА

 1 пА - 20 нА (с установленной горловиной)

Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму 

 Встроена по умолчанию

Энергетический фильтр

отсутствует

Встроен. Управляется напряжением  отсутствует 

Режим торможения пучка «Gentle Beam»

 Доступен в базовой комплектации

Предметный столик

Эвцентрический гониометрический столик
Моторизованный по 5-ти осям
Диапазон перемещений: X: 70 мм, Y: 50мм
Наклон: от -5° до 70°
Вращение: 360°

Диапазон рабочих отрезков

от 2 до 41 мм

 

 

Вакуумный шлюз

Входит в базовую комплектацию 

 
Низковакуумный режим

недоступен

 доступен
Вакуумная система

 

Полностью автоматизирована
Ионный насос — 2 шт.
Турбомолекулярный насос — 1 шт.

 

 

Форвакуумный ротационный насос

  1 шт  2 шт

 

ОБРАТНАЯ СВЯЗЬ

...