JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.).
JSM-7610F – это растровый электронный микроскоп с катодом Шоттки, сочетающий в себе мощную электронную пушку и объективную линзу открытого типа (semi-in-lens). Благодаря такой комбинации этот РЭМ одинаково хорош как для работы с диэлектриками или чувствительными к воздействию электронного луча образцами при малых ускоряющих напряжениях, так и для проведения экспериментов, требующих высоких токов пучка (элементного анализа с использованием спектрометра с волновой дисперсией, получения картин дифракции отраженных электронов, катодолюминесцентных исследований и т.п.).
JSM-7610F комплектуется шлюзовой камерой, что существенно снижает время замены образца, уменьшает загрязнение камеры образцов, нивелирует риск повреждения аналитических приставок из-за резких перепадов давления, продлевает срок службы катода и диафрагм в несколько раз, и в то же время не исключает возможность работы с большими образцами (до 200 мм в диаметре).
JSM-7610F является прекрасным инструментом для решения задач в области исследований наноматериалов, классического материаловедения, анализа качества металлургической продукции, медицины, биологии и др.
Аппаратная часть | |
Разрешение |
Тип источника электронов |
1,0 нм (15 кВ), |
Термоэмиссионный катод (катод Шоттки) |
Ускоряющее напряжение | Шаг изменения ускоряющего напряжения |
100 В - 30 кВ |
от 0,1 кВ до 2,9 кВ - шаг 10 В |
Увеличение |
Ток пучка |
х25 - x1 000 000 (в пересчете на площадь фотопластины 120 мм х 90 мм) |
от 1 пА до более, чем 200 нА |
Линза, оптимизирующая угол вхождения пучка в диафрагму |
Энергетический фильтр |
Встроена по умолчанию |
Доступен в базовой комплектации |
Предметный столик |
Диапазон перемещений |
Эвцентрический гониометрический столик |
X: 70 мм, Y: 50 мм (тип IA) |
Диапазон рабочих отрезков |
Вакуумный шлюз |
оот 1 до 40 мм |
Входит в базовую комплектацию |
Режим торможения пучка «Gentle Beam» |
Максимальный диаметр образца |
Входит в базовую комплектацию |
200 мм (с использованием столика образцов типа III и 8-дюймового шлюза) |
Вакуумная система
|
|
Полностью автоматизирована |